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ITO圓筒靶

表1：

 

項目

規格

主要成分

In2O3:SnO2=90:10（wt%），其它比例以客戶要求(qiu)為準

純度

4N（雜質含量見附表(biao)）

相對密度

≥99.3%（理論密度7.15g/cm3）

電阻率

≤1.8Ω·mm2/m

失氧率

≤0.5%

物理規格

呈圓筒狀(zhuang)(zhuang)或其他(ta)形狀(zhuang)(zhuang)，其尺寸及偏(pian)差由供(gong)需雙方(fang)商(shang)定(ding)

外觀質量

外觀顏色均勻；表面平整，無裂紋，無崩邊崩角(jiao)，且無任何(he)外來夾雜物(wu)和污染(ran)物(wu)

內部缺陷

內部無裂紋，無異物

 

附表：

 

雜質含量（×10-6）不大于         單位：wt%

Fe

Pb

Zn

Ni

Cu

Cd

Al

Si

Ca

Mg

15

10

10

5

5

5

15

15

15

5