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ITO靶材和銅背板

表1：

項目	規格
主要成分	In₂O₃:SnO₂=90:10（wt%），其它比例以客(ke)戶要求為準
純度	4N（雜質含量見附(fu)表(biao)）
相對密度	≥99.3%（理論密度7.15g/cm³）
電阻率	≤1.8Ω·mm²/m
失氧率	≤0.5%
物理規格	呈片(pian)狀(zhuang)或(huo)其他形狀(zhuang)，其尺寸及偏(pian)差由(you)供需雙方(fang)商定
外觀質量	外觀顏色均勻(yun)；表面(mian)平整(zheng)，無裂紋，無崩邊崩角，且無任何外來夾雜物(wu)(wu)和(he)污(wu)染物(wu)(wu)
內部缺陷	內部無裂紋，無異物

附表：

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