表1：
使用該ITO靶材鍍膜后，ITO導電膜的性能參數
項目
規格
導電性能
約180μΩ·cm（滿(man)足產(chan)品生產(chan)要求）
透光率
>87%（滿足產(chan)品(pin)生(sheng)產(chan)要求）
耐熱實驗
合格
泡堿實驗
耐堿實驗
蝕刻性能
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