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ITO旋轉靶(綁定后)

表1:

 

項目

規格

主要成分

In2O3:SnO2=90:10(wt%),其它比例以客戶要(yao)求為準

純度

4N(雜質含量見附表)

相對密度

≥99.3%(理論密度7.15g/cm3

電阻率

≤1.8Ω·mm2/m

失氧率

≤0.5%

物理規格

呈圓(yuan)筒狀(zhuang)或其(qi)他形(xing)狀(zhuang),其(qi)尺寸及偏差由供需雙方(fang)商定

外觀質量

外觀顏色均勻;表面平整,無裂紋(wen),無崩邊崩角,且無任(ren)何外來夾(jia)雜(za)物和污染(ran)物

內部缺陷

內部無裂紋,無異物

 

附表:

 

雜質含量(×10-6)不大于         單位:wt%

Fe

Pb

Zn

Ni

Cu

Cd

Al

Si

Ca

Mg

15

10

10

5

5

5

15

15

15

5