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大尺寸ITO平面靶材

表1：

 

項目

規格

主要成分

In2O3:SnO2=90:10（wt%），其它比例以(yi)客戶要求為準(zhun)

純度

4N（雜質含(han)量(liang)見(jian)附表）

    規格尺寸                   800 X  272  X  6 mmt 

相對密度

≥99.5%（理論密度7.15g/cm3）

電阻率

≤1.8Ω·mm2/m

失氧率

≤0.5%

物理規格

呈片(pian)狀(zhuang)或其他形(xing)狀(zhuang)，其尺寸及偏差由供需雙方商定

外觀質量

外觀顏色均勻；表(biao)面(mian)平整(zheng)，無(wu)裂紋，無(wu)崩邊崩角，且無(wu)任何外來夾雜(za)物和(he)污染物

內部缺陷

內部無裂紋，無異物

 

附表：

 

雜質含量（×10-6）不大于         單位：wt%

Fe

Pb

Zn

Ni

Cu

Cd

Al

Si

Ca

Mg

15

10

10

5

5

5

15

15

15

5